In vielen Fabriken sind die Vakuumanforderungen nicht konstant.
Einige Prozesse erfordern ein Hochvakuum, während andere nur einen bestimmten Zustand aufrechterhalten müssen. Wenn die Ausrüstung ständig mit voller Geschwindigkeit läuft, sind die Stromkosten hoch und der Verschleiß der Ausrüstung beschleunigt sich.
Der Vorteil der Trockenschrauben-Vakuumpumpe mit variabler Frequenz liegt darin –
Es arbeitet nicht ständig mit voller Leistung, sondern passt seine Geschwindigkeit automatisch an den tatsächlichen Bedarf an. Die Vakuumpumpe arbeitet bedarfsgesteuert, spart Strom und vermeidet unnötige Arbeit.
Bei geringer Systemlast verlangsamt sich die Vakuumpumpe automatisch und reduziert so unnötigen Energieverbrauch;
Benötigt der Prozess eine größere Pumpleistung, kann schnell reagiert werden, sodass der Produktionsrhythmus nicht gestört wird.
Diese variable Frequenzsteuerungsmethode senkt nicht nur die Stromkosten erheblich, sondern sorgt auch dafür, dass das gesamte System reibungsloser und leiser läuft. Auf lange Sicht schützt es auch die Ausrüstung selbst.
Die Trockenschrauben-Vakuumpumpe mit variabler Frequenz verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche, die es Benutzern ermöglicht, den Betriebsstatus und die Parameter auf einen Blick zu verstehen. Bediener benötigen keine spezielle, komplexe Schulung; Es ist sehr einfach zu bedienen und die täglichen Anpassungen und Überwachung sind bequem.
Halbleiter- und Elektronikfertigung: Ätzen, CVD, PECVD und andere Prozesse
Photovoltaik- und LED-Produktionslinien: Dünnschichtabscheidung, Reinigung und Evakuierung
Chemische Prozesse: Gasaufbereitung, Vakuumreaktion, Lösungsmittelrückgewinnung
Beschichten, Galvanisieren und industrielle Anwendungen mit hoher Reinheit
1. Kurzer Gasweg und Reduzierung der Kontamination des Prozessgases
Im Vergleich zu anderen Arten von Trockenvakuumpumpen verfügt die HANBELL-Schraubenvakuumpumpe über den kürzesten Gasweg in der Vakuumpumpe, wodurch die Verunreinigung des Prozessgases verringert werden kann. Schraubenrotoren können als Pulverübertragungsmechanismus fungieren, sie laufen gut, selbst wenn sich in der Pumpe viel Schmutz befindet.
2. Hervorragende Pumpenleistung aufgrund der hervorragenden Dichtungswirkung des Rotorprofils
Das patentierte Rotorprofil sorgt für eine hervorragende Dichtungswirkung des Rotors, wodurch ein größerer Zwischenraum möglich ist. Der Verschleiß des Pumpenrotors und die Blockierung des Rotors durch Prozessverschmutzung können durch einen größeren zulässigen Abstand reduziert werden.
3. Einfache Struktur reduziert das Risiko eines unerwarteten Pumpenstopps und erleichtert den Überholungsprozess.
Das Schraubenvakuum besteht aus einem Paar Schraubenrotoren und Isolierplatten sind in verschiedenen Stufen der Pumpkammer erforderlich. Prozesskontaminationen zwischen Rotoren und Isolierplatten können ebenfalls vermieden werden. Die Überholung einer Hanbell-Trockenpumpe ist viel einfacher als bei anderen Arten von Trockenpumpen, sodass die Reparaturzeit kürzer und die Kosten geringer sind.
4. Mikroprozessor-Controller und Fernbedienungssoftware können die Pumpe vor anormalen Situationen schützen.
Die Mikroprozessorsteuerung bietet zahlreiche Pumpenparameter zur Überwachung des Betriebsstatus. Die Pumpe kann einfach über das Bedienfeld bedient und überwacht werden. Mithilfe einer Fernbedienungssoftware kann der Kunde den Betriebsstatus der Pumpe aus der Ferne überwachen.
1. Zur Kühlung wird ein spezielles Kühlmittel verwendet, um eine mögliche Korrosion des Gehäuses durch das Kühlwasser zu vermeiden.
2. Die mobile Bedienoberfläche ist praktisch für die Bedienung. Es zeigt den tatsächlichen Betriebszustand der Vakuumpumpe an und kann sowohl auf Chinesisch als auch auf Englisch angezeigt werden, was den Kunden wirklich gerecht wird.
3. Stromanschluss in Militärqualität, sicher und bequem.
4. Stickstoffheizung, wodurch die Vakuumpumpe besser für Halbleiterprozesse wie CVD und PECVD geeignet ist.
5. Steuersignal- und Kommunikationssignalschnittstelle, die eine Fernüberwachung der Vakuumpumpe ermöglicht.
| Modell | Einheit | PS80 | PS160 | PS180 | |
| Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) | L/Min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m³/h | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| UIZeitdruck | Torr | ≤7,5*10⁻3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| Pa | ≤1 | ||||
| Motor | Frequenz | HZ | 50/60 | ||
| Stromspannung | V | 220~440 | |||
| Leistung | PS | 4 | 6 | 6 | |
| KW | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| Verbindung | Einlass | NW50 | |||
| Outler | NW40 | ||||
| Kühlung Wasser |
Fließen | L/Min | 3~7 | ||
| Druck | kg/cm² | 2~4 | |||
| Temperatur | ℃ | 18~30 | |||
| Verbindung | RC3/8" | ||||
| N2 | Druck | Mpa | 0,15~0,2 | ||
| Fluss verdünnen | L/Min | 0~60 | |||
| Dichtungsfluss | L/Min | 0~20 | |||
| Verbindung | Swagelok 1/4" | ||||
| ABM.L*B*H | mm | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| Gewicht | kg | 280 | 300 | 320 | |
| Lärm | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden. | |||||
| Schnittstelle | SEMIE73-0299 | ||||
| Pumpenleckrate | Mbar.1/s | 1*10-5 | |||
| Betriebstemp | ℃ | 5~40 | |||
| Betriebsfeuchtigkeit | RH | unter 90 % | |||
| Modell | Einheit | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) | L/Min | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| m³/h | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| cfm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| UIZeitdruck | Torr | ≤7,5*10⁻⁴ | ||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||
| Pa | ≤0,1 | |||||
| Motor | Frequenz | HZ | 50/60 | |||
| Stromspannung | V | 220~440 | ||||
| Leistung | PS | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| KW | 2,98+2,98 | 4,47+2,98 | 4,47+4,47 | 4,47+4,47 | ||
| Verbindung | Einlass | IS0100 (verschraubt) | IS0160 (verschraubt) | |||
| Outler | NW40 | |||||
| Kühlung Wasser |
Fließen | L/Min | 3~7 | |||
| Druck | kg/cm² | 2~4 | ||||
| Temperatur | ℃ | 15~30 | ||||
| Verbindung | RC3/8" | |||||
| N2 | Druck | Mpa | 0,15~0,2 | |||
| Fluss verdünnen | L/Min | 0~60 | ||||
| Dichtungsfluss | L/Min | 0~20 | ||||
| Verbindung | Swagelok 1/4" | |||||
| ABM.L*B*H | mm | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| Gewicht | kg | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| Lärm | dB(A) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
| Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden. | ||||||
| Schnittstelle | SEMIE73-0299 | |||||
| Betriebstemp | ℃ | 5~40 | ||||
| Betriebsfeuchtigkeit | RH | Unter 90 % | ||||
Trockene Schraubenvakuumpumpe, kann mit wassergekühltem Motor (explosionsgeschützt) oder luftgekühltem Motor (explosionsgeschützt) ausgestattet sein, hohe Sauggeschwindigkeit bei hohem Druck, geringer Stromverbrauch, geringe Geräuschentwicklung.
TFT-LCD, Touchpanel
Solar
Metallurgisches System
Beschichtung
Plasmaprozesse
Trocknungsprozess
Biotechnologie/Pharma
Chemische Industrie
| Modell | Einheit | PD120 | PD200 | PD300 | PD500 | PD650 | PD800 | |
| Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) | L/Min | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| m³/h | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| cfm | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| UIZeitdruck | Torr | ≤7,5*10-3 | ||||||
| mbar | ≤1*10-2 | |||||||
| Pa | ≤1 | |||||||
| Motor | Frequenz | HZ | 50/60 | |||||
| Stromspannung | V | 220~380~440 | ||||||
| Leistung | PS | 4/5.3 | 6/7,5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| KW | 2,98/4 | 4,47/5,5 | 6,7/7,5 | 15.11 | 18,5/22 | 18,5/22 | ||
| Leistung | KW | 1,6/2 | 2,2/3 | 3,6/4,2 | 6/7 | 13.10 | 14.11 | |
| Verbindung | Einlass | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO80 | ISO100 | ISO100 | |
| Outler | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ||
| Kühlung Wasser |
Verbindung | RC3/8" | RC1/2" | |||||
| Druck | kg/cm² | 2,0 ~ 4,0 | ||||||
| Temperatur | ℃ | 3slm18℃~7slm28℃ | 6slm18℃~15slm28℃ | |||||
| Fließen | L/Min | |||||||
| N2 | Druck | kg/cm² | 0,15~0,2 | |||||
| Fluss verdünnen | L/Min | Nach Prozess | ||||||
| Dichtungsfluss | L/Min | 10 | ||||||
| Verbindung | Swagelok 1/4" | |||||||
| ABM.L*B*H | mm | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538,4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| Gewicht | kg | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| Lärm | dB(A) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| Betriebstemp | ℃ | 5~40℃ | ||||||
| Betriebsfeuchtigkeit | RH | Unter 90 % | ||||||

| Produkt | Einheit | PD300 | PD500 | PD1902 | PD2152 | PD3052 | PD3652 |
| Trockene Pumpe | m³/h | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| Druckerhöhungspumpe | m³/h | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| Max. Pumpgeschwindigkeit | m³/h | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| l/min | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| Ultimativer Druck | Torr | 7,5X10-3 | 7,5X10-3 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 |
| Stromverbrauch | kW | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| Einlass | ALSO | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| Auslass | NW | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| Abmessung (mm) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| Gewicht | kg | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. Die PR-Pumpen verfügen über einen hochwertigen, ölfreien Pumpmechanismus.
2. Hervorragende Pumpenleistung aufgrund der hervorragenden Dichtungswirkung des Ratorprofils.
3. Der Betrieb bei relativ niedrigen Drücken macht es äußerst zuverlässig
4. Leiser, vibrationsfreier Betrieb
Vakuumbeschichtung, Vakuumofen, thermische Prozesse, Pharmazeutik, Chemie, Halbleiter, TFT/LCD/LED und Solarzellen usw.
| Modell | Einheit | PR600 | PR900 | PR1300 | PR1800 | PR3000 | PR7000 | |
| Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) | L/Min | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| m³/h | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| cfm | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| UIZeitdruck | Torr | ≤7,5*10⁴ | ||||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||||
| Pa | ≤0,1 | |||||||
| Motor | Frequenz | HZ | 50/60 | |||||
| Stromspannung | V | 220~440 | ||||||
| Leistung | PS | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| KW | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6,7/15 | 15 | ||
| Stromverbrauch im Leerlauf | KW | 1.7 | ||||||
| Verbindung | Einlass | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ISO-K | |||
| Outler | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ISO-K | ||||
| ABM.L*B*H |
mm |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| Gewicht | kg | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| Lärm | dB(A) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
≤70 |
|
| Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden. | ||||||||
| Pumpenleckrate | Mbar.1/s | 1*10⁵ | ||||||
| Betriebstemperatur ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| Betrieb Feuchtigkeit RH | RH | Unter 90 % | ||||||
| Modell | Einheit | PMF100 | PMF120 | PMF612 | |
| Pumpgeschwindigkeit | L/Min | 1666 | 1933 | 10000 | |
| m³/h | 100 | 116 | 600 | ||
| cfm | 59 | 69 | 353 | ||
| Ultimativer Druck | Torr | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-4 | |
| mbar | ≤1×10-2 | ≤1×10-2 | ≤1×10-3 | ||
| Motor | Stromspannung | V | 220V/380V | 220V/380V | 220V/380V |
| Nennleistung | kW | 2.2 | 2.2 | 2.2+2.2 | |
| Verbindung | Einlass | NW50 | NW50 | ISO80 | |
| Auslass | NW25 | NW25 | NW40 | ||
| Kühlwasser Schwach. |
Druck | kg/cm² | 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²) | 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²) | 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²) |
| Min.Flow | L/Min | 1 | 1 | 1 | |
| Temp | ℃ | 20℃ 2L/min~30℃ 5 l/min |
20℃ 2Lmin~30℃ 5 l/min |
20℃ 2L/min~30℃ 5 l/min |
|
| Komik | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| L×B×H | mm | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| Gewicht | kg | 60 | 60 | 120 | |
| Nosice | dB | 60 | 60 | 60 | |
| Ultimative Druckkraft | kW | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| Produkt | Einheit | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| Trockene Pumpe | m³/h | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| Booster | m³/h | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| Max. Pumpgeschwindigkeit | m³/h | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| Ultimativer Druck | Torr | 7,5×10-3 | 7,5×10-3 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 |
| Systemleistung bei UIt. | kW | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| Einlass | ISO | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| Auslass | NW | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Abmessung (mm) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| Gewicht | kg | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
Adresse
567 Songwei North Road, Bezirk Songjiang, Shanghai, China
Tel