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Trockene Schraubenvakuumpumpe mit variabler Frequenz
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Trockene Schraubenvakuumpumpe mit variabler Frequenz

Die hochwertige Trockenschneckenvakuumpumpe mit variabler Frequenz von Yuzhen kann ihre Drehzahl automatisch an die Arbeitsbedingungen vor Ort anpassen und verbraucht dabei nur die erforderliche Leistung, was zu größeren Energieeinsparungen und Flexibilität führt. Es eignet sich besonders für Produktionslinien mit häufigen Prozesswechseln und hohen Anforderungen an Energieverbrauch und Stabilität.

In vielen Fabriken sind die Vakuumanforderungen nicht konstant.

Einige Prozesse erfordern ein Hochvakuum, während andere nur einen bestimmten Zustand aufrechterhalten müssen. Wenn die Ausrüstung ständig mit voller Geschwindigkeit läuft, sind die Stromkosten hoch und der Verschleiß der Ausrüstung beschleunigt sich.

Der Vorteil der Trockenschrauben-Vakuumpumpe mit variabler Frequenz liegt darin –

Es arbeitet nicht ständig mit voller Leistung, sondern passt seine Geschwindigkeit automatisch an den tatsächlichen Bedarf an. Die Vakuumpumpe arbeitet bedarfsgesteuert, spart Strom und vermeidet unnötige Arbeit.

Bei geringer Systemlast verlangsamt sich die Vakuumpumpe automatisch und reduziert so unnötigen Energieverbrauch;

Benötigt der Prozess eine größere Pumpleistung, kann schnell reagiert werden, sodass der Produktionsrhythmus nicht gestört wird.

Diese variable Frequenzsteuerungsmethode senkt nicht nur die Stromkosten erheblich, sondern sorgt auch dafür, dass das gesamte System reibungsloser und leiser läuft. Auf lange Sicht schützt es auch die Ausrüstung selbst.


Einfache Verwaltung

Die Trockenschrauben-Vakuumpumpe mit variabler Frequenz verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche, die es Benutzern ermöglicht, den Betriebsstatus und die Parameter auf einen Blick zu verstehen. Bediener benötigen keine spezielle, komplexe Schulung; Es ist sehr einfach zu bedienen und die täglichen Anpassungen und Überwachung sind bequem.


Typische Anwendungsszenarien

Halbleiter- und Elektronikfertigung: Ätzen, CVD, PECVD und andere Prozesse

Photovoltaik- und LED-Produktionslinien: Dünnschichtabscheidung, Reinigung und Evakuierung

Chemische Prozesse: Gasaufbereitung, Vakuumreaktion, Lösungsmittelrückgewinnung

Beschichten, Galvanisieren und industrielle Anwendungen mit hoher Reinheit


TROCKENSCHRAUBENVAKUUMPUMPE DER PS-SERIE

Hauptmerkmale

1. Kurzer Gasweg und Reduzierung der Kontamination des Prozessgases

Im Vergleich zu anderen Arten von Trockenvakuumpumpen verfügt die HANBELL-Schraubenvakuumpumpe über den kürzesten Gasweg in der Vakuumpumpe, wodurch die Verunreinigung des Prozessgases verringert werden kann. Schraubenrotoren können als Pulverübertragungsmechanismus fungieren, sie laufen gut, selbst wenn sich in der Pumpe viel Schmutz befindet.

2. Hervorragende Pumpenleistung aufgrund der hervorragenden Dichtungswirkung des Rotorprofils

Das patentierte Rotorprofil sorgt für eine hervorragende Dichtungswirkung des Rotors, wodurch ein größerer Zwischenraum möglich ist. Der Verschleiß des Pumpenrotors und die Blockierung des Rotors durch Prozessverschmutzung können durch einen größeren zulässigen Abstand reduziert werden.

3. Einfache Struktur reduziert das Risiko eines unerwarteten Pumpenstopps und erleichtert den Überholungsprozess.

Das Schraubenvakuum besteht aus einem Paar Schraubenrotoren und Isolierplatten sind in verschiedenen Stufen der Pumpkammer erforderlich. Prozesskontaminationen zwischen Rotoren und Isolierplatten können ebenfalls vermieden werden. Die Überholung einer Hanbell-Trockenpumpe ist viel einfacher als bei anderen Arten von Trockenpumpen, sodass die Reparaturzeit kürzer und die Kosten geringer sind.

4. Mikroprozessor-Controller und Fernbedienungssoftware können die Pumpe vor anormalen Situationen schützen.

Die Mikroprozessorsteuerung bietet zahlreiche Pumpenparameter zur Überwachung des Betriebsstatus. Die Pumpe kann einfach über das Bedienfeld bedient und überwacht werden. Mithilfe einer Fernbedienungssoftware kann der Kunde den Betriebsstatus der Pumpe aus der Ferne überwachen.


Vorteile

1. Zur Kühlung wird ein spezielles Kühlmittel verwendet, um eine mögliche Korrosion des Gehäuses durch das Kühlwasser zu vermeiden.

2. Die mobile Bedienoberfläche ist praktisch für die Bedienung. Es zeigt den tatsächlichen Betriebszustand der Vakuumpumpe an und kann sowohl auf Chinesisch als auch auf Englisch angezeigt werden, was den Kunden wirklich gerecht wird.

3. Stromanschluss in Militärqualität, sicher und bequem.

4. Stickstoffheizung, wodurch die Vakuumpumpe besser für Halbleiterprozesse wie CVD und PECVD geeignet ist.

5. Steuersignal- und Kommunikationssignalschnittstelle, die eine Fernüberwachung der Vakuumpumpe ermöglicht.

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


TROCKENSCHRAUBENVAKUUMPUMPE DER PS-SERIE

Modell Einheit PS80 PS160 PS180
Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) L/Min 1300/1600 2150/2600 2500/3000
m³/h 80/96 140/156 150/180
cfm 48/57 82/92 88/105
UIZeitdruck Torr ≤7,5*10⁻3
mbar ≤1*10-2
Pa ≤1
Motor Frequenz HZ 50/60
Stromspannung V 220~440
Leistung PS 4 6 6
KW 2.98 4.47 4.47
Verbindung Einlass NW50
Outler NW40
Kühlung
Wasser
Fließen L/Min 3~7
Druck kg/cm² 2~4
Temperatur 18~30
Verbindung RC3/8"
N2 Druck Mpa 0,15~0,2
Fluss verdünnen L/Min 0~60
Dichtungsfluss L/Min 0~20
Verbindung Swagelok 1/4"
ABM.L*B*H mm 814*380*663 895*405*678 920*425*650
Gewicht kg 280 300 320
Lärm dB(A) ≤68 ≤70 ≤70
Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden.
Schnittstelle SEMIE73-0299
Pumpenleckrate Mbar.1/s 1*10-5
Betriebstemp 5~40
Betriebsfeuchtigkeit RH unter 90 %


Modell Einheit PS602 PS902 PS1302 PS1802
Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) L/Min 8300/10000 12500/15000 17500/21000 25000/33300
m³/h 500/600 750/900 1050/1260 1500/1800
cfm 294/353 441/530 618/742 883/1060
UIZeitdruck Torr ≤7,5*10⁻⁴
mbar ≤1*10⁻³
Pa ≤0,1
Motor Frequenz HZ 50/60
Stromspannung V 220~440
Leistung PS 4+4 6+4 6+6 6+6
KW 2,98+2,98 4,47+2,98 4,47+4,47 4,47+4,47
Verbindung Einlass IS0100 (verschraubt) IS0160 (verschraubt)
Outler NW40
Kühlung
Wasser
Fließen L/Min 3~7
Druck kg/cm² 2~4
Temperatur 15~30
Verbindung RC3/8"
N2 Druck Mpa 0,15~0,2
Fluss verdünnen L/Min 0~60
Dichtungsfluss L/Min 0~20
Verbindung Swagelok 1/4"
ABM.L*B*H mm 814*380*865 895*380*915 920*430*957 920*430*1030
Gewicht kg 450 520 540 545
Lärm dB(A) ≤70 ≤70 ≤70 ≤70
Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden.
Schnittstelle SEMIE73-0299
Betriebstemp 5~40
Betriebsfeuchtigkeit RH Unter 90 %


PS physikalische Abmessungen

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


Trockenschnecken-Vakuumpumpe der PD-Serie

Merkmale

Trockene Schraubenvakuumpumpe, kann mit wassergekühltem Motor (explosionsgeschützt) oder luftgekühltem Motor (explosionsgeschützt) ausgestattet sein, hohe Sauggeschwindigkeit bei hohem Druck, geringer Stromverbrauch, geringe Geräuschentwicklung.


Anwendung

TFT-LCD, Touchpanel

Solar

Metallurgisches System

Beschichtung

Plasmaprozesse

Trocknungsprozess

Biotechnologie/Pharma

Chemische Industrie


PD-Leistungsparameter

Modell Einheit PD120 PD200 PD300 PD500 PD650 PD800
Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) L/Min 1667/2000 2830/3400 4167/5000 7000/8333 9030/10840 11011/13233
m³/h 100/120 167/200 250/300 420/500 540/650 680/800
cfm 59/71 98/117 147/176 248/295 371/382 393/471
UIZeitdruck Torr ≤7,5*10-3
mbar ≤1*10-2
Pa ≤1
Motor Frequenz HZ 50/60
Stromspannung V 220~380~440
Leistung PS 4/5.3 6/7,5 8/10 15/20 25/30 25/30
KW 2,98/4 4,47/5,5 6,7/7,5 15.11 18,5/22 18,5/22
Leistung KW 1,6/2 2,2/3 3,6/4,2 6/7 13.10 14.11
Verbindung Einlass NW50 NW50 ISO63 ISO80 ISO100 ISO100
Outler NW40 NW40 NW40 NW50 ISO63 ISO63
Kühlung
Wasser
Verbindung RC3/8" RC1/2"
Druck kg/cm² 2,0 ~ 4,0
Temperatur 3slm18℃~7slm28℃ 6slm18℃~15slm28℃
Fließen L/Min
N2 Druck kg/cm² 0,15~0,2
Fluss verdünnen L/Min Nach Prozess
Dichtungsfluss L/Min 10
Verbindung Swagelok 1/4"
ABM.L*B*H mm 814*380*663 920*430*674 1075*430*650 1346*538,4*886 1831*610*735 1831*610*735
Gewicht kg 280 345 390 550 1050 1050
Lärm dB(A) 68 <70 <70 <75 <80 <80
Betriebstemp 5~40℃
Betriebsfeuchtigkeit RH Unter 90 %


PD-Leistungskurve

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


PD-Abmessungen

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


PD-Serie

Produkt Einheit PD300 PD500 PD1902 PD2152 PD3052 PD3652
Trockene Pumpe m³/h 330 500 330 500 500 500
Druckerhöhungspumpe m³/h 1800 1800 3000 3600
Max. Pumpgeschwindigkeit m³/h 330 500 1900 2100 3000 3600
l/min 5500 8300 32000 35000 50000 60000
Ultimativer Druck Torr 7,5X10-3 7,5X10-3 7,5X10-4 7,5X10-4 7,5X10-4 7,5X10-4
Stromverbrauch kW 4.5 7.7 5.3 8.5 8.8 9.0
Einlass ALSO 63 80 160 160 200 200
Auslass NW 40 50 40 50 50 50
Abmessung (mm) L 1055 1505 1055 1505 1505 1505
W 430 525 430 525 525 525
H 560 515 1055 790 965 965
Gewicht kg 350 500 560 730 1000 1020


WURZELPUMPE DER PR-SERIE

Merkmale

1. Die PR-Pumpen verfügen über einen hochwertigen, ölfreien Pumpmechanismus.

2. Hervorragende Pumpenleistung aufgrund der hervorragenden Dichtungswirkung des Ratorprofils.

3. Der Betrieb bei relativ niedrigen Drücken macht es äußerst zuverlässig

4. Leiser, vibrationsfreier Betrieb


Anwendungsgebiet

Vakuumbeschichtung, Vakuumofen, thermische Prozesse, Pharmazeutik, Chemie, Halbleiter, TFT/LCD/LED und Solarzellen usw.


PR-Leistungsparameter

Modell Einheit PR600 PR900 PR1300 PR1800 PR3000 PR7000
Pumpgeschwindigkeit (50 Hz/60 Hz) L/Min 13000 20000 26000 33000 63000 140000
m³/h 800 1200 1600 2000 3800 8400
cfm 470 706 941 1176 2235 4947
UIZeitdruck Torr ≤7,5*10⁴
mbar ≤1*10⁻³
Pa ≤0,1
Motor Frequenz HZ 50/60
Stromspannung V 220~440
Leistung PS 4 4 6 6 8/20 20
KW 2.98 2.98 4.47 4.47 6,7/15 15
Stromverbrauch im Leerlauf KW 1.7
Verbindung Einlass IS0100 ISO160 ISO200 320 ISO-K
Outler IS0063 ISO100 IS0160 160 ISO-K
ABM.L*B*H
mm

721*322*233

778*360*250

848*360*272

778*360*272
1142*510*358 1490*669*490
Gewicht kg 160 210
220

225
570 880
Lärm dB(A)
≤60

≤60

≤62

≤62

≤65

≤70
Hinweise: 1. Die oben genannten Geräuschpegel gelten für Modelle mit wassergekühltem Motor und ohne Gehäuse. 2. Durch den Einbau von Schallschutzvorrichtungen bei den oben genannten Modellen kann der Lärm um weitere 3–4 Dezibel reduziert werden.
Pumpenleckrate Mbar.1/s 1*10⁵
Betriebstemperatur ℃ 5~40
Betrieb Feuchtigkeit RH RH Unter 90 %


PMF Semiconductor Energiesparserie

Modell Einheit PMF100 PMF120 PMF612
Pumpgeschwindigkeit L/Min 1666 1933 10000
m³/h 100 116 600
cfm 59 69 353
Ultimativer Druck Torr ≤7,5×10-3 ≤7,5×10-3 ≤7,5×10-4
mbar ≤1×10-2 ≤1×10-2 ≤1×10-3
Motor Stromspannung V 220V/380V 220V/380V 220V/380V
Nennleistung kW 2.2 2.2 2.2+2.2
Verbindung Einlass NW50 NW50 ISO80
Auslass NW25 NW25 NW40
Kühlwasser
Schwach.
Druck kg/cm² 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²) 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²) 2,0–4,0 (△P>1 kg/cm²)
Min.Flow L/Min 1 1 1
Temp 20℃ 2L/min~30℃
5 l/min
20℃ 2Lmin~30℃
5 l/min
20℃ 2L/min~30℃
5 l/min
Komik RC1/4" RC1/4" RC1/4"
L×B×H mm 450×230×275 450×230×275 530×230×520
Gewicht kg 60 60 120
Nosice dB 60 60 60
Ultimative Druckkraft kW 0.39 0.44 0.5


IPH-Serie

Produkt Einheit iPH100 iPH200 iPH610 iPH1210 iPH1210H iPH1220 iPH1810 iPH1820
Trockene Pumpe m³/h 120 200 120 120 120 200 120 200
Booster m³/h 1 I 600 1200 1200 1200 1800 1800
Max. Pumpgeschwindigkeit m³/h 120 200 700 1100 1100 1250 1800 1850
Ultimativer Druck Torr 7,5×10-3 7,5×10-3 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4
Systemleistung bei UIt. kW 2.1 3.5 2.6 3.0 3.2 4.5 3.9 4.7
Einlass ISO 63 63 100 100 100 100 160 160
Auslass NW 40 40 40 40 40 40 40 40
Abmessung (mm) L 830 830 830 830 830 830 830 830
W 400 400 400 400 400 400 400 400
H 526 526 780 780 780 780 830 830
Gewicht kg 280 300 450 455 460 470 515 530



Hot-Tags: Trockenschnecken-Vakuumpumpe mit variabler Frequenz, Lieferant von Trockenschnecken-Vakuumpumpen, Hersteller von industriellen Vakuumpumpen
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